納米級潔凈車間的破壁之戰(zhàn)——解碼青島丹佳的微塵控制術(shù)
在青島西海岸半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)園,丹佳團(tuán)隊(duì)打造的Class 1級潔凈車間正刷新行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。車間采用層流天花板與多孔地板形成的垂直單向流,風(fēng)速穩(wěn)定在0.45±0.05m/s區(qū)間,0.1μm微粒濃度控制在1個(gè)/m3以內(nèi)。獨(dú)創(chuàng)的V型導(dǎo)流墻設(shè)計(jì)使氣流均勻度達(dá)到95%,徹底消除傳統(tǒng)潔凈室常見的渦流死角。
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